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薄膜應力及基底翹曲測試設備FSM 128

品 牌:Frontier Semiconductor

產 地:美國

型 號:FSM 128

關鍵詞標簽:薄膜應力;晶弓量測系統;非接觸激光掃描;
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產品簡介
       FSM率先推出基于商業化應用的激光掃描光學杠桿(Optilever)技術,主要應用于薄膜應力和晶圓彎曲測量。該設備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋,分層,突起和空隙是如何形成的問題。全新設計的FSM128系列設備,裝備有精密的光學掃描系統,特別適合在半導體,三-五族,太陽能,微機電,數據存儲和液晶面板行業的下一代器件的研發和生產中使用。

快速&非接觸激光掃描

3-D 視圖 &輪廓圖

可在室溫&高溫環境下測量

適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機械手臂搬送晶圓

 

主要設計特性:
·  多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓,而無需更換晶圓樣品載片臺。FSM 128系列其它型號主要針對其它特殊尺寸樣品設計。(例如:FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品,而FSM 128G則專門設計來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
·  樣品容易放置和回收
特殊設計的可自動伸縮開關門機構,方便從樣品載片臺上放置和回收晶圓樣品,使多片晶圓測量變得輕而易舉。
·  自動切換雙波段激光
FSM128系列具有專利的自動激光切換掃描技術.當樣品反射率不好時,系統會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride,Polyimides, Low K,High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會遇到無法測量的問題。
·  2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達驅動的可旋轉載片臺,可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應力變化分布,并準確反映出工藝和均勻性有問題的區域。
·  薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能,使設備變成一臺可以在研發和生產環境下靈活使用強大的桌面型設備。

測量結果圖表和Map可以很容易以Excel或者Word文檔輸出生成報告

主要應用于半導體, LED,太陽能,數據存儲 & 液晶面板產業

 

 

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